气相沉积炉

中配道合气相沉积炉包括单（双）温区真空管式炉、单双温区管式炉。

CVD-1200系统由滑动式开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成.通过滑动炉体来实现快速的升降温:同时通过三路高精度质量量计控制不同气体。

CVD-1200系统由开启式单(双)温区管式炉、高真空分子泵系统、压强控制仪及多通道高精度故字质量流量控制系统组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试验。